Если читали книгу - поделитесь, пожалуйста, своими впечатлениями о книге.
Тип книги: book ( Книга / Аудиокнига ) Категория книги: учебники и пособия для вузов Год издания: 2013 Паблишер: МИСиС Серии:
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Электронная Библиотека
:Мария Быкова
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирован
Скачать книгу: https://go.wmlogs.com/yti/NIDDINjRodHRwczovL3d3dy5saXRyZXMucnUvMzA4MTY5NjkvP2xmcm9tPTI5MDI0OIDM
Читать онлайн: https://go.wmlogs.com/yti/PQZZQPTFodHRwczovL3d3dy5saXRyZXMucnUvcGFnZXMvcXVpY2tyZWFkLz9hcnQ9MzA4MTY5Njkmc2tpbj1ub3JtYWwmbGZyb209MjkwMjQ4MjY0Jmw9MjkwMjQ4MjY0JndpZGdldD0xLjAwJmlmcmFtmcm
Если читали книгу - поделитесь, пожалуйста, своими впечатлениями о книге.
Тип книги: book ( Книга / Аудиокнига )
Категория книги: учебники и пособия для вузов
Год издания: 2013
Паблишер: МИСиС
Серии:
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Ссылка на книгу » https://go.wmlogs.com/yti/NIDDINjRodHRwczovL3d3dy5saXRyZXMucnUvMzA4MTY5NjkvP2xmcm9tPTI5MDI0OIDM
Читать онлайн: https://go.wmlogs.com/yti/PQZZQPTFodHRwczovL3d3dy5saXRyZXMucnUvcGFnZXMvcXVpY2tyZWFkLz9hcnQ9MzA4MTY5Njkmc2tpbj1ub3JtYWwmbGZyb209MjkwMjQ4MjY0Jmw9MjkwMjQ4MjY0JndpZGdldD0xLjAwJmlmcmFtmcm
Скачать книгу: https://go.wmlogs.com/yti/NIDDINjRodHRwczovL3d3dy5saXRyZXMucnUvZ2V0dHJpYWwvP2FydD0zMDgxNjk2OSZmb3JtYXQ9dHh0Jmxmcm9tPTI5MDI0OIDM
#учебники #пособия #вузов #Компьютерное #моделирование #нанотехнологий #наноматериалов #наноструктур #Математическое #фотолитографических #процессов #электронной #литографии #создании #субмикронных #структур #нанометровыми #размерами #book #Юрчук #МИСиС #книги #библиотека #2024 #скачать_книгу #читать_онлайн #учебники_и_пособия_для_вузов #высокие_технологии